對于十萬級無塵車間來說，需要根據實際生產流程設置相應的功能室，將人流物流趨勢和運行效率一起考慮。在初步確定平面圖的基礎上，確定潔凈區、非潔凈區和潔凈區的潔凈度等級。然后確定相應的通風量或斷面風速。然后放置回風口，規劃潔凈送風機組(尺寸、朝向、風機空調選型等。)，并規劃回風風道等。

　　1.潔凈室的布局

　　十萬級無塵車間一般包括無塵區、準無塵區和輔助區。十萬級無塵車間的平面布置有幾種方式:

　　波紋游廊:游廊可以有窗，也可以沒有窗，可以用來觀景，放置一些設備，有的游廊有直熱。外窗須是雙層密封窗。

　　內走廊型:無塵車間位于外圍，走廊位于內部。這種走廊的無塵程度普遍較高，甚至與無塵車間處于同一水平。

　　兩端:一側設置無塵區，另一側設置準無塵及輔助用房。

　　中心:為了節省土地和縮短管道，無塵區可以居中，周圍有各種輔助用房和遮蔽管道。這種方法避免了室外氣候對無塵區的影響，降低了冷熱能耗，有利于節能。

　　2.清掃道路

　　為了減少十萬級無塵車間操作過程中人為活動造成的污染，人員在進入潔凈區之前，須更換干凈的衣服，洗手，消毒，通過風淋室。

　　在人員凈化室中，更換無塵服的房間應送風，入口側等其他房間應保持正壓，衛生間、淋浴間應保持負壓。

　　3材料凈化道路

　　各種物品在送入無塵區之前都要經過凈化處理。網。

　　物質凈化道路應與個人凈化道路分開。如果物料和人員只能在同一個地方進入無塵車間，也需要單獨進入十萬級無塵車間，物料要先經過粗凈化處理。

　　在生產線不強的場合，可以在材料路中心設立中心倉庫。

　　如果生產線很強，選擇直通物料路，有時需要在直通路中央設置重復凈化輸送設備。

　　在十萬級無塵車間系統規劃上，潔凈室的粗、精凈化階段會吹掉很多原生顆粒物，所以相對潔凈區要堅持負壓或零壓，污染風險高的要在進口方向堅持負壓。